特點(diǎn)
? 分辨率／重復(fù)精度為0.1/0.5μm 時(shí)，精度
可高達(dá)(1.3+0.6L/600)μm。
? 確保垂直度(前部) 達(dá)6μm，直線度達(dá)4μm。
? 全／半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊。
? 帶有基本統(tǒng)計(jì)功能， 另外，通過RS-232C
數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連，可
實(shí)現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
? 半自動(dòng)測量時(shí)具有單鍵操作功能
| 產(chǎn)品描述： | |
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